MEMS

1 개요

microelectromechanical systems; MEMS

미세전자기계시스템; 멤스

• 나노기술을 이용해 제작되는 매우 작은 기계
• 미세가공기술을 이용하여 소형화된 기계나 전기기계 소자를 만드는데 사용하는 기술
• 반도체 공정기술을 기반으로 성립되는 마이크론(㎛)이나 ㎜크기의 초소형 정밀기계 제작기술
• 실리콘, 수정, 유리 등을 가공해 초고밀도 집적회로, 초소형 기어, 초소형 하드디스크 등 초미세 기계구조물을 만드는 기술

2 같이 보기

• 나노기술

3 참고

• https://ko.wikipedia.org/wiki/MEMS
• http://terms.naver.com/entry.nhn?docId=68280&cid=43667&categoryId=43667