포토레지스트

1 개요

photoresist

포토레지스트, 포토리지스트 [fòutourizíst]

• 감광성이 있는 수지
• 반도체 기판 제작에 쓰이는 감광액 재료
• 빛에 노출됨으로써 약품에 대한 내성이 변화하는 고분자 재료
• 얇은 막으로 만들어 빛을 쐬면 내약품성이 큰 경질막으로 변화하는 감광성 재료
• 얇은 막으로 만들어 빛을 쐬면 내약품성(耐藥品性)이 큰 경질막(硬質膜)으로 변화하는 감광성 재료
• 표면에 패턴화된 코팅을 형성하기 위해 포토리소그래피(노광공정), 사진 제판술 등 여러 공정에 사용되는 광반응 물질
• 전자산업에 필수적이다.
• 집적 회로를 만드는 사진 평판에 쓰인다.
• 프린트 배선 기판, 집적 회로ㆍ고밀도 집적 회로의 제조, 신문 따위의 인쇄판 제작 따위에 쓴다.
• 이 공정은 광반응 유기물질로 기질을 코팅함으로써 시작한다.
• 그 뒤 패턴화된 마스크는 빛을 차단하기 위해 표면에 적용됨으로써 이 물질에서 마스킹되지 않는 부분만이 빛에 노출된다.
• 그 뒤 표면에 솔벤트가 적용된다.
• 2019년 초 기준, 일본의 세계시장 점유율 90%

한국의 일본산 수입비중 91.9%

2 같이 보기

• 감광성
• 포토마스크
• 포토리소그래피
• 2019년 한일 무역 분쟁

3 참고

• 위키백과 "포토레지스트"
• 영어 위키백과 "Photoresist"
• 위키낱말사전 "포토레지스트"
• 다음사전 "포토레지스트"
• 다음백과 "포토레지스트"
• 네이버사전 "포토레지스트"
• 네이버백과 "포토레지스트"